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5.3
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5.4
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2.
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3.
²¨³¤Öظ´ÐÔ£º¡Ü¡À0.1nm
4.
²¨³¤Çø·ÖÂÊ£º¡Ü 0.01nm
5.
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6.
»ùÏßÎȶ¨ÐÔ£º¡Ü  0.02 mdeg/h ¡£
7.
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8.
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1
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2
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1
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2
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3
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4
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2.1.3
Á÷ËÙ¹æ¸ñ£º×¼È·¶È¡Ü¡À1.5% £¬¾«ÃܶÈRSD<0.5%
2.1.4
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2.2.
ѹÁ¦´«¸ÐÆ÷
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¹æÄ££º0 µ½ 20 MPa
2.2.2
׼ȷ¶È£º¡À0.02 MPa »ò¡À2%
2.3
×ÏÍâ¼ì²âÆ÷
2.3.1
²¨³¤¹æÄ££º190 ÖÁ 700 nm
2.3.2 
Çø·ÖÂÊ£º0.001 mAU
2.3.3
Æ¯ÒÆ£º ¡Ü0.2 mAU; AU/h
2.3.4
ÔëÉù£º<0.1 mAU
2.4
µçµ¼Âʼà²âÆ÷
2.4.1
¼ì²â¹æÄ££º0.01 mS/cm µ½ 999.99 mS/cm
2.4.2
׼ȷ¶È£º ¡À0.01 mS/cm »ò ¡À2%
2.5.PH
¼ì²âÆ÷
2.5.1
¼ì²â¹æÄ££º0 µ½ 14pH
2.5.2
׼ȷ¶È£º¡À0.1pH
3.
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3.1
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3.2
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4
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4.1
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4.2
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4.3
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4.4
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3.1
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3.2
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3.3
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3.4
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3.5
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3.6
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3.7
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3.8
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4
ÆäËûÒªÇó
4.1
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4.2
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5
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5.2
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5.3
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5.4
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ÈçÐè¶ÔÑùÆ·½øÐÐǰ´¦Àí £¬ÐèÌṩÅäÌ×Á¥ÊôÉ豸

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2
¡¢¼ì²â·½·¨
2.1
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2.2
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*3
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3.1
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3.2
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3.3
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3.4
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3.5  
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4
ÆäËûÒªÇó
4.1
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4.2
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5
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5.1
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5.2
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5.3
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5.4
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*3
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3.2
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4
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4.1
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5.3
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ÈçÐè¶ÔÑùÆ·½øÐÐǰ´¦Àí £¬ÐèÌṩÅäÌ×Á¥ÊôÉ豸

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4
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5
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7
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²»ÏÞ

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*2
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5
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6
¡¢½á¹ûÏÔʾ£º¸ßÇå²ÊɫҺ¾§ÏÔʾ £¬Çø·ÖÂʡݣ¨768*576£© £¬ÏÔʾ³ß´ç¡Ý4.0Ó¢´ç £¬²Ù×÷±ã½Ý £¬¿É½ÓÄÉ´¥Ãþ¡¢µ¼Ïò¸ËµÈ
7
¡¢µçÔ´£º220V¡À10%/50Hz³äµç £¬¿Õµç³Ø³äÂúʱ¼ä¡Ü8h £¬ÄÚÖÃï®µç³Ø¹©µç £¬µç³Ø¹©µç¡Ý4h
8
¡¢ÊÂÇéÇé¿ö£ºÕû»ú·ÀË®¡¢·À³¾£»ÊÂÇéζȣº-20¡æ-100¡æ £¬¿ÉÔÚË®Öг¤Ê±¼äÁ¬ÐøÊÂÇé¡Ý4h £¬¾ßÓиßα¨¾¯¹¦Ð§
9
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10
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3
¡¢Çø·ÖÂÊ£º0.01m/s
4
¡¢ÏìӦʱ¼ä£º£¨0¡«999£©s £¬Óû§¿Éµ÷
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¡¢×¼È·ÐÔÆ«²î£ºÁ÷ËÙ£¾0.03m/sʱ £¬¡Ü1%
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¡¢¼ì²âµã±ê¼Ç£ºÖ§³ÖÐÅÏ¢¼üÈëºÍɨÃèÊäÈë
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11
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12
¡¢Òƶ¯µçÔ´£ºï®Àë×Ó»òÆäËûÀàÐͿɳäµçµç³Ø £¬Á¬ÐøÊÂÇé¡Ý6Сʱ
13
¡¢µçÔ´£º220V¡À10% £¬50Hz
14
¡¢ÊÂÇéÇé¿ö£ºÎ¶ȣ¨0¡«160£©¡æ £¬Êª¶È¡Ü80%RH

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